Перфторэфирный каучук (ФФКМ)является отличным герметизирующим материалом. Благодаря своим превосходным характеристикам он нашел широкое применение в системе производства полупроводников. Одним из основных расходных материалов, необходимых для производства интегральных схем, являются уплотнительные кольца из перфторэфира.
Основными мономерами перфторэфирного каучука являются тетрафторэтилен и перфторалкилвиниловый эфир, которые сополимеризуются с небольшим количеством третьих мономеров, имеющих точки вулканизации. Это каучук, который вообще не содержит связей CH. Содержание фтора в его молекулярной структуре, структура и содержание перфторированного винилового эфира, а также энергия связи и количество сшивающих связей в процессе вулканизации - все это влияет на характеристики вулканизированного соединения и температуру стеклования. Структура и компоненты различны, как и их производительность. Ниже приведены основные эксплуатационные характеристики перфторэфирного каучука:
1) Физические свойства: Плотность составляет 1.9-2.0г/см3, физико-механические свойства аналогичны фторкаучуку, а остаточная остаточная деформация при высокотемпературном сжатии превосходит фторкаучук.
2) Химическая стойкость: Химически устойчив.
3) Устойчивость к высоким и низким температурам: рабочая температура обычно составляет 260–290 градусов, но ее можно использовать с перерывами при температуре 316 градусов. Tg (температура стеклования) некоторых перфторэфирных каучуков составляет -19 градусов.
4) Устойчивость к высокотемпературному пару.
5) Низкое количество осадков и выбросов.
6) Устойчивость к плазме.
Он имеет высокую чистоту и характеристики продукта с низким уровнем осадков в плазменной среде, а также может выдерживать воздействие плазмы в течение длительного времени.Надежность эластомерных прокладок имеет решающее значение в производстве полупроводников, а стоимость остановки производства для замены прокладок чрезвычайно высока. Требования к чистоте и чистоте уплотнений чрезвычайно строгие во избежание потенциальных рисков. При этом уплотнения должны быть способны работать длительный период времени под давлением высокого вакуума, агрессивных химических газов и высокотемпературной среды.
Сырье из перфторэфирного каучука дорогое и обычно используется в производстве полупроводников. Он устойчив к плазменной коррозии, газовой коррозии, кислотной и щелочной коррозии, высокотемпературной коррозии, высоким требованиям к чистоте резиновых уплотнений, помогает сохранить целостность уплотнения, сокращает время технического обслуживания и повышает безопасность и является лучшим уплотнением для производства полупроводников. Материал.